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| 项目 | CE参数 | |
|---|---|---|
| 测量范围 | X轴 | 0-300毫米 |
| X轴分辨率 | 0.1微米 | |
| Z轴 | 30-60毫米 | |
| 轮廓传感器 | Z1轴范围 | 0.02微米 |
| Z1分辨率 | ≤±(0.8+|0.05H|)微米 | |
| 轮廓精度 | Z1线性精度 | ±(2+R/8)微米 |
| 圆弧 | ±2′ | |
| 角度 | 0.5微米/100毫米（截止波长2.5） | |
| 直线度 | 电动 | |
| 驱动速度 | X轴驱动方式 | 电动 |
| Z轴驱动方式 | 0.5毫米/秒 | |
| 最快测量速度 | 500毫米×800毫米 | |
| 大理石平台 | 天然大理石 | |
| 工作台面尺寸 | 420、620毫米（可选） | |
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